低電気抵抗高強度材料

製品コンセプト

半導体の高性能化・大面積化に伴い、ウェハ検査にはかつてない高精度と安定性が求められています。

NTKセラミックは、これら高度な要求にこたえるため、プローブカードの中核を担うSTF(スペーストランスフォーマー)向けに、独自の「低電気抵抗高強度材料」の基板を供給しています。極小・多ピン化する検査ニーズを構造から支え、次世代デバイスの品質を根本から担保します。

試作例

低電気抵抗高強度材料

電気抵抗率/抗折強度

低電気抵抗高強度材料

特徴

低電気抵抗率(7μΩ・cm)とセラミックコア高強度(720MPa)の特性を併せ持つ次世代セラミック基板

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