MEMSデバイス

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MEMS（Micro Electronics Mechanical Systems）デバイスは、圧力、加速度、ジャイロといった各種物理量センサや、光スイッチに使用されるマイクロミラーやDNA検査に用いられるマイクロアクチュエータなど、多岐にわたる分野で利用されています。
NTKセラミックのパッケージは、小型で高い信頼性を持つ多層配線基板としてこの製品の高信頼性に寄与しています。
航空宇宙産業分野におけるMEMSデバイスでは特に高信頼性が要求されており、NTKセラミックのセラミックパッケージがこの要求に応えています。

対応するパッケージ

MEMSデバイス

用途・活用分野: 航空・宇宙分野においては、衛星やロケットに搭載されるジャイロなどの慣性センサ用パッケージとして、放射線耐性があり、また高気密性を維持することにより宇宙空間での安定動作と姿勢制御を支えています。
情報通信分野では、大規模AIクラスター間を動的接続する光スイッチのパッケージに使用されており、AI時代のデータセンターを支えます。
産業・ファクトリーオートメーション分野では、マスクレス露光機用のマイクロミラーや、地層の高圧、高熱、磁気に耐性のある石油掘削用センサの保護としてセラミックパッケージが利用されています。
医療・環境分野では、高精度なDNAシーケンサを安定的に支え、気密性と耐環境性が求められるエアフローセンサ、水質センサ、風力発電用のジャイロに活用されています。

製品の特徴と強み

1. 高気密性、耐環境性

セラミックパッケージを採用するMEMSデバイスは、その機械的な安定性とMEMSデバイスを保護する能力を期待しています。
MEMSデバイスは微細な可動部があり、外部からの接触と、外気による劣化から保護するためにセラミックの持つ高い気密性が不可欠です。
また、航空・宇宙分野では放射線の過酷な環境下での故障リスクを最小化します。
過酷環境下である石油掘削用では、高圧・高熱環境への耐性に加え、地磁気検知の精度を確保するため、非磁性メタライズが要求されるケースにも対応しています。
2. 高性能を維持する機械安定性

MEMSデバイスの動作精度を維持するため、セラミックの平坦性と、高い剛性と低熱膨張によって「変形しないこと」が求められます。
3. カスタム対応

セラミックプロセスの工程を一貫して行える体制であるため、多岐にわたるMEMSデバイスの仕様に柔軟なサポートでカスタム対応できます。

次世代への取り組み: 次世代のMEMSデバイスの性能要求に対応するため、パッケージにおいて、高放熱性・低抵抗化・微細配線化のコア技術開発を推進しています。
セラミックの課題である高密度多層配線化を解決するため、高精細パターン描画技術や、配線の低抵抗化を目指した低電気抵抗高強度材料の開発に取り組んでいます。
光スイッチなどのMEMSデバイスの大型化に伴って要求される高平坦性や低反りに対しても開発を進めています。
MEMSデバイスは微細な機械構造を有しているため、セラミックパッケージは過酷環境からデバイスを守り、絶対的な信頼性を保証する防護服と、機械的に安定した土台でデバイスの性能を最大化すると揺るぎないプラットフォームのような役割を果たし続けます。